TY  - BOOK
AU  - Маллер Р., Кейминс Т.
TI  - Элементы интегральных схем
SN  - 5-03-001100-5                                                                                       
PY  - 1989///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - полупроводники                                                                                      ,технология изготовления кремниевых приборов
N1  - 0
ER  -