черняев В.Н <br/><br/>
Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров 
Баумана Н.А                                                                                         Калинина Н.К                                                                                         
 - 0 
 - Москва  Экономика  1985 
 - 464х. 
 -  0 .
<br/><br/>0 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0  2900 
<br/><br/><label>Source: </label> Хэвлэл захиалга                                    
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>методы описания и анализа технологических  процессов производства интегральных микросхем            ,технология механической и химической обработки подложек для интегральных микросхем                  ,технология литографических процессов                                                                ,технология монтажа и сборки интегральных микросхем                                                  ,технология гибридых интегральных микросхем и микросборок                                             
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>620  / Ч-49